TRUFLOUREZ-T95(超高純度等級)
透明全氟橡膠
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?硬度( Shore A )為60度
?耐溫性能:-5 ℃~300 ℃
?耐介質(zhì)性能:優(yōu)異的耐腐蝕性,能夠在、Plasma等苛刻的環(huán)境中保持橡膠的彈性,最高可在300度的溫度下保持密封性能刻蝕
?應用于PVD、CVD、ETCH、 Chamber等工藝制程
?推薦用于半導體制程,超高潔凈度的腔體內(nèi)
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